เครื่องเคลือบคาร์บอนแบบ PVD Magnetron Sputtering และการระเหยความร้อน
1. ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
ระบบสุญญากาศ
พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
ความเร็วในการสูบแบบหมุน | 50 เฮิรตซ์: 8 ม³/ชม. (2.2 ลิตร/วินาที) / 60 เฮิรตซ์: 9.6 ม³/ชม. (2.6 ลิตร/วินาที) |
ขีดจำกัดสุญญากาศ | 2 คน |
กระแสสปัตเตอร์สูงสุด | 100 มิลลิแอมป์ |
กระแสการระเหยสูงสุด | 100 เอ |
แรงดันการทำงานสปัตเตอร์ | 20 ปา – 8 ปา |
แรงดันการทำงานการระเหย | 6 ปา – 4 ปา |
เวลาทำงานของการดูดฝุ่น | < 5 นาที (ถึง 2 Pa) |
การวัดสูญญากาศ | บรรยากาศถึง 2×10 มิลลิบาร์ |
การควบคุมก๊าซ | ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ |
ขนาดห้อง | Ø150 × 120 มม. (สูง) กระจกควอตซ์ป้องกันรอยขีดข่วน |
แหล่งแมกนีตรอนเป้าหมาย | Ø50 × 0.1 มม. (Au) / ตัวเลือก: Au, Ag, Pt |
แหล่งกำเนิดเป้าหมายการระเหย | เชือกคาร์บอน |
วิธีการใช้งาน | คู่มือ (มีคู่มือการใช้งานรวมอยู่ด้วย) |
ขนาด (ตัวเครื่องหลัก) | 360 มม. (ยาว) × 300 มม. (กว้าง) × 380 มม. (สูง) |
ขนาด (หน่วยการระเหย) | 360 มม. (ยาว) × 300 มม. (กว้าง) × 160 มม. (สูง) |
น้ำหนัก | 55 กก. |
แหล่งจ่ายไฟ | AC 110V 60Hz หรือ AC 220V 50Hz |
การใช้พลังงาน | < 2000 วัตต์ |
วิธีการทำความเย็น | การระบายความร้อนด้วยอากาศ (การระเหย) + การระบายความร้อนด้วยน้ำ (การสปัตเตอร์) |
การรับประกัน | การรับประกันแบบจำกัด 1 ปี พร้อมการสนับสนุนผลิตภัณฑ์ตลอดอายุการใช้งาน |
พารามิเตอร์การสปัตเตอร์
· เป้าหมายการสปัตเตอร์ : Au (มาตรฐาน), Ag, Pt, Cr, Al, Cu เสริม
· ขนาดเป้าหมาย : Ø50 มม.
· แท่นตัวอย่าง : ปรับความสูงได้ รองรับตัวอย่างขนาด Ø50 มม. และ Ø70 มม. (ปรับแต่งได้)
· แรงดันการสปัตเตอร์ : 0–1600 V (DC, ปรับได้)
· กระแสสปัตเตอร์ : 0–50 mA
· เวลาการสปัตเตอร์ : 0–360 วินาที
พารามิเตอร์การระเหย
· วัสดุระเหย : เชือกคาร์บอนไฟเบอร์
· กระแสการระเหย : 0–100 A (AC)
· แรงดันการระเหย : 0–30 V
· เวลาการระเหย : 0–1 วินาที
· วาล์วสุญญากาศขนาดเล็ก : ใช้งานร่วมกับท่อ Ø3 มม. ได้
ทั่วไป
· แรงดันไฟฟ้าขาเข้า : 220 V (110 V ทางเลือก), 50 Hz
· ปั๊มสุญญากาศ : ปั๊มใบพัดหมุน 2 ลิตร/วินาที (VRD-8 ในบ้าน)
2. คุณสมบัติหลัก
ข้อดีของฟังก์ชันคู่
· การออกแบบแบบบูรณาการ : ผสมผสานการสปัตเตอร์โลหะและการระเหยของคาร์บอนไว้ในระบบขนาดกะทัดรัดหนึ่งเดียว
· ความยืดหยุ่นของกระบวนการ : สลับระหว่างการเคลือบโลหะนำไฟฟ้า (Au/Ag/Pt) และฟิล์มคาร์บอนบางเฉียบ
· ประสิทธิภาพด้านเวลา : ปั๊มลงภายใน 5 นาที ช่วยให้ประมวลผลตัวอย่างได้อย่างรวดเร็ว
การออกแบบที่เน้นผู้ใช้เป็นศูนย์กลาง
· ห้องโปร่งใสสำหรับการตรวจสอบแบบเรียลไทม์
· การควบคุมตามหลักสรีรศาสตร์พร้อมโปรแกรมที่ตั้งไว้ล่วงหน้า
· ระบบเปลี่ยนเป้าหมายโดยไม่ต้องใช้เครื่องมือ
1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
