จุดเด่นของผลิตภัณฑ์
· การเคลือบที่สม่ำเสมอและละเอียดพิเศษ : ผลิตฟิล์มตกแต่งที่สะท้อนแสง/โปร่งแสงสูงด้วยขนาดอนุภาค 6–10 นาโนเมตร เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานด้านสุนทรียศาสตร์
เทคโนโลยีการสปัตเตอร์แบบเย็น : ไม่มีการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิพื้นผิว ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสมบูรณ์ของตัวอย่างที่ไวต่อความร้อน
· ประสิทธิภาพและความแม่นยำสูง : ช่วงกระแสสปัตเตอร์กว้าง (5–45mA) ด้วยแรงดันไฟฟ้า 600V และกำลังไฟสูงสุด 450W สำหรับฟิล์มที่มีการยึดเกาะหนาแน่น
· การทำงานอัตโนมัติ : มีระบบควบคุม LCD, การหมุนเวียนสูญญากาศอัตโนมัติ (ปั๊มลง <90 วินาที) และการปล่อยก๊าซเพื่อเวิร์กโฟลว์ที่มีประสิทธิภาพ
แอปพลิเคชันหลัก
· ฟิล์มตกแต่ง : เคลือบแบบสะท้อนแสงเต็มที่/กึ่งโปร่งแสง
· การผลิตอิเล็กโทรด : เมมเบรนแบตเตอรี่ ชั้นนำ ไฟฟ้า
· กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน : การเตรียมตัวอย่าง FE-SEM
· วัสดุที่บอบบาง : สารตั้งต้นที่ไวต่ออุณหภูมิ (ตัวอย่างทางชีวภาพ โพลิเมอร์ ตัวกรอง)
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
หมวดหมู่ | พารามิเตอร์ |
โหมดการทำงาน | การสปัตเตอร์แมกนีตรอนแบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ |
กระแสสปัตเตอร์ | 2–50mA (ปรับได้) |
แรงดันไฟฟ้า | 600V (ปรับได้) |
วัสดุเป้าหมาย | มาตรฐาน: Au/Pt (เลือกหนึ่งอย่าง); ตัวเลือก: Ag, Cu, Al, Ti, Cr, Pb |
ระบบสุญญากาศ | ปั๊มโรเตอรี่ปิดผนึกน้ำมัน (1 ลิตร/วินาที) หรือปั๊มสโครลแห้งเสริม (<0.1 ปาสกาลสูงสุด) |
ขนาดห้อง | Ø128×130มม. |
ผู้ถือตัวอย่าง | 1×Ø90มม., 4×Ø25มม., 6×Ø15มม. |
แหล่งจ่ายก๊าซ | อากาศ/อาร์กอน เข้าอัตโนมัติผ่านการเชื่อมต่อด่วน Φ4 |
ขนาดอนุภาค | 6–10 นาโนเมตร |
แหล่งจ่ายไฟ | 220V/50Hz (ปรับแต่งได้ 110V) สูงสุด 450W |
การป้องกัน | กระแสเกิน (>50mA cutoff), สุญญากาศ (>100Pa cutoff) |
ข้อได้เปรียบที่เป็นเอกลักษณ์
· ความเข้ากันได้กับเป้าหมายที่หลากหลาย : รองรับโลหะหลากหลายชนิดเพื่อคุณสมบัติของฟิล์มที่เหมาะสม
· ความเสียหายจากความร้อนเป็นศูนย์ : สำคัญสำหรับโพลิเมอร์ ชีววัสดุ และส่วนประกอบของแบตเตอรี่
· การยึดเกาะระดับอุตสาหกรรม : ฟิล์มยึดเกาะที่แข็งแรงเพื่อชั้นตกแต่ง/ฟังก์ชันที่ทนทาน
เหมาะสำหรับ
· ห้องปฏิบัติการ R&D : การเคลือบแบบแม่นยำสำหรับ SEM การศึกษาด้านฟิล์มบาง
· ผู้ผลิต : ฟิล์มตกแต่ง, อิเล็กโทรด และเซ็นเซอร์
· Bio/Nano Tech : การเตรียมตัวอย่างที่ละเอียดอ่อนด้วยการควบคุมในระดับนาโน
