อุปกรณ์ระบบสปัตเตอร์แมกนีตรอนแบบตั้งโต๊ะสุญญากาศสูง
ทีแม็กซ์-บีวาย-เจเอส04 -เป้าหมายแม่เหล็กอ่อนต่างๆ
ข้อมูลจำเพาะ
หมวดหมู่ | ข้อมูลจำเพาะ |
วัสดุเป้าหมาย | เป้าหมายแม่เหล็กอ่อนต่างๆ |
ขนาดเป้าหมาย | Ø60-80 มม. (เป้าหมายแม่เหล็กอ่อน) |
โหมดควบคุม | การดำเนินการด้วยตนเอง |
ห้อง | กระจกโบโรซิลิเกต Ø180มม. × สูง240มม. |
เวทีตัวอย่าง | Ø180มม. (เข้ากันได้กับเวที Ø80มม.) |
ก๊าซสปัตเตอร์ | รองรับก๊าซหลายชนิด (เช่น Ar) |
ระบบสุญญากาศ | - ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ (80 ลิตร/วินาที) - ปั๊มสุญญากาศประสิทธิภาพสูงแบบ 2 ขั้นตอน |
เป้าหมายการสปัตเตอร์ | - มาตรฐาน: Au (60mm × 0.1mm) - ตัวเลือก: Ag, Pt (ปรับแต่งได้) |
กระแสสปัตเตอร์ | 0-500เอ |
เครื่องดูดฝุ่นขั้นสูงสุด | 5×10⁻⁴ ปา |
แรงดันไฟฟ้าในการทำงาน | 220V, 50Hz |
คุณสมบัติหลักและแอปพลิเคชัน
คุณสมบัติ:
✔ อัตราการสะสมสูง – เพิ่มประสิทธิภาพการกักเก็บพลาสมาเพื่อการใช้วัสดุอย่างมีประสิทธิภาพ
✔ การให้ความร้อนแก่วัสดุพิมพ์ต่ำ – ลดผลกระทบทางความร้อนต่อวัสดุที่ไวต่อความร้อน
✔ ดีไซน์กะทัดรัดสำหรับโต๊ะทำงาน – เหมาะสำหรับการวิจัยฟิล์มบางในระดับห้องปฏิบัติการ
✔ ตัวเลือกเป้าหมายที่ยืดหยุ่น – รองรับ Au, Ag, Pt และวัสดุแม่เหล็กอ่อนอื่นๆ
การใช้งานทั่วไป:
· เซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ – ชั้นนำไฟฟ้า, MEMS, เซ็นเซอร์
· การเคลือบออปติคอล – ฟิล์มสะท้อนแสง/ป้องกันแสงสะท้อน
· วิทยาศาสตร์วัสดุ – ฟิล์มบางโครงสร้างนาโน วิศวกรรมพื้นผิว
1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
