ระบบ Lab CVD พร้อมเตาเผาแบบหลอดโรตารีโซนคู่ 1500-1500C
ระบบ CVD ประกอบด้วยระบบจ่ายก๊าซ + เตาเผาแบบท่อ + ระบบสุญญากาศ อุณหภูมิสูงสุดสามารถสูงถึง 1,200, 1,400, 1,600 และ 1,700 องศา โซนทำความร้อนสามารถเป็นโซนอุณหภูมิเดียว โซนอุณหภูมิคู่ โซนอุณหภูมิสามโซน ฯลฯ สุญญากาศสูงสุดสามารถสูงถึง 10-3 ปาสกาล ระบบจ่ายก๊าซสามารถใช้มิเตอร์วัดอัตราการไหลแบบมวลหรือมิเตอร์วัดอัตราการไหลแบบลอยเพื่อควบคุมอัตราการไหล จำนวนช่องผสมสามารถเป็น 2 ช่อง 3 ช่อง 4 ช่อง และ 5 ช่อง
พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียด
แบบอย่าง | 1500-1500-ฉัน 1500-1500-II |
พลัง | 9KW 9KW |
ขนาดท่อ | เส้นผ่านศูนย์กลาง 60(OD) X1400 มม. เส้นผ่านศูนย์กลาง 80(OD) X1400 มม |
แรงดันไฟฟ้าที่จ่าย | 380V 380V |
เฟส | เฟสคู่ เฟสคู่ |
หลอด | ท่อคอรันดัม: เซรามิก AIO ความบริสุทธิ์สูง (รวม) 99.5% |
องค์ประกอบความร้อน | โซนอุณหภูมิแรก: แท่งคาร์บอนซิลิกอน โซนอุณหภูมิที่สอง: แท่งคาร์บอนซิลิกอน |
ความเร็วรอบการหมุนของท่อเตาเผา | ด้วยมอเตอร์ปรับความเร็วแบบไม่มีขั้นตอน สามารถปรับความเร็วได้ระหว่าง (1-25 รอบต่อนาที) |
กำลังมอเตอร์ | 40 วัตต์ |
เตาเผาสามารถเอียงเป็นมุมได้ | 0-30 องศา |
ชนิดของไดรฟ์ | สายพานและเฟืองฟันเฟือง |
โหมดควบคุม | เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม UAV (มาตรฐาน) 1. โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ 30 ขั้นตอน ปรับ PID อัจฉริยะ 2. ด้วยระบบป้องกันอุณหภูมิสูงเกิน วงจรทำความร้อนของเตาไฟฟ้าจะถูกตัดโดยอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิสูงเกินหรือแตก (เมื่ออุณหภูมิของเตาไฟฟ้าเกิน 1520 องศาหรือเทอร์โมคัปเปิลขาด รีเลย์ AC บนวงจรหลักจะถูกตัดการเชื่อมต่อโดยอัตโนมัติ วงจรหลักจะแตก ไฟเปิดบนแผงจะดับ ไฟปิดจะติด และเตาไฟฟ้าจะถูกจำกัดการป้องกัน) 3. พร้อมอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐานเมื่อซื้อซอฟต์แวร์) 4. พร้อมฟังก์ชั่นป้องกันการปิดเครื่อง นั่นคือ เมื่อเปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่องแล้ว โปรแกรมจะไม่เริ่มทำงานจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่อุณหภูมิของเตาจะสูงขึ้นตั้งแต่เวลาที่ไฟฟ้าดับ 5. มิเตอร์มีฟังก์ชั่นปรับอุณหภูมิอัตโนมัติ 
(ต้องเสียเงินเพิ่มเพื่อเปลี่ยนเครื่องมือที่นำเข้ามาเป็นทางเลือก)   
เครื่องมือ FP93 เครื่องมือ EUROTHERM เครื่องมือหน้าจอสัมผัส (ชิมะเดน ประเทศญี่ปุ่น)
|
วัสดุเตาเผา
| 1. เตาบ่มไฟเบอร์โพลีคริสตัลไลน์อะลูมินาความบริสุทธิ์สูงคุณภาพสูงที่เกิดจากการกรองสูญญากาศ 2. นำเทคโนโลยีญี่ปุ่นมาใช้ในการขึ้นรูป |
การควบคุมความแม่นยำ | +/- 1℃ |
สิ่งกระตุ้น | ทริกเกอร์แบบเฟสชิฟต์ |
เครื่องใช้ไฟฟ้า | เจ้อเจียงชินท์ |
ควบคุมด้วยซิลิคอน | 106/16เอเซมิโครน |
อุณหภูมิสูงสุดในเขตอุณหภูมิที่ 1 และ 2 | 1500℃ |
อุณหภูมิที่กำหนดในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและสอง | 1400℃ |
อัตราความร้อน | ≤20℃/นาที (สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามความต้องการ) |
อัตราการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิที่แนะนำ | ≤10℃/นาที |
เทอร์โมคัปเปิล | S พิมพ์โซนอุณหภูมิแรก
S พิมพ์ในช่วงอุณหภูมิที่สอง |
ความยาวของส่วนทำความร้อนในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและสอง | 300+300มม. 300+300มม. |
ความยาวอุณหภูมิคงที่ | 450มม. 450มม. |
ระบบจ่ายอากาศสามช่อง Gx-3 (อากาศผสม)
1.1. ก๊าซจะออกจากกระบอกสูบ จะถูกลดแรงดันผ่านวาล์วลดความดัน ผ่านท่อ PTFE ไปยังทางเข้าของระบบจ่ายก๊าซ จากนั้นผ่านมาตรวัดอัตราการไหลของมวลเพื่อควบคุมอัตราการไหลของก๊าซ จากนั้นผ่านถังผสมก๊าซ จากนั้นจึงเข้าสู่ทางเข้าเตาเผา
1.2. ติดตั้งมาตรวัดความดันไว้ที่ถังผสมก๊าซ และติดตั้งแผ่นแสดงมาตรวัดความดันและตัวควบคุมอัตราการไหลของโปรตอนไว้บนแผงเดียวกัน
1.3. ท่อแก๊สแต่ละเส้นมีวาล์วปิดแรงดันสูงเพื่อความปลอดภัย
1.4 เส้นทางก๊าซใช้เครื่องวัดอัตราการไหลของมวลก๊าซที่มีความแม่นยำสูง และภายในเส้นทางก๊าซทำจากท่อสแตนเลสทั้งหมด ซึ่งมีความทนทานต่อการกัดกร่อนที่ดี
1.5. ข้อต่อทั้งหมดในกล่องเชื่อมต่อด้วยปลอกโลหะสแตนเลสซึ่งมีความแน่นหนาของอากาศที่ดีและทนต่อแรงดันสูง
2. พารามิเตอร์ทางเทคนิค:
ช่องลม : 3
การควบคุมการไหลของก๊าซ: เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล
ขนาดตู้: 600X600X600มม.
พารามิเตอร์ทางเทคนิคของเครื่องวัดอัตราการไหลมวล:
อินเทอร์เฟซ: Φ6
จอแสดงผล: LED
อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน: 5~45°C
ตัวควบคุมการไหล: พารามิเตอร์ตัวควบคุมการไหลของโปรตอน โปรดตรวจสอบอีกครั้ง
ท่อสแตนเลส: Φ6 ด้านนอก X Φ4
ตารางแรงดันสุญญากาศ: -0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/division
วาล์วหยุด: Φ6
การควบคุมการไหล: การควบคุมอัจฉริยะ PLC
3. พารามิเตอร์ทางเทคนิคของเครื่องวัดอัตราการไหลมวล:
ชื่อสินค้า: ตัวควบคุมการไหลของมวล
รายละเอียดสินค้า : แบบปกติ วงจรอนาล็อก
รายละเอียดสินค้า : ธรรมดา วงจรอนาล็อก ซีลยาง ชันท์ท่อ ไม่อุดตันง่าย
ตัวบ่งชี้หลัก: ช่วง: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (สามารถเลือกช่วงได้ตามต้องการ)
• ความแม่นยำ: ±1% FS
• เชิงเส้น: 0.5% FS
• ความสามารถในการทำซ้ำ: ±0.2% FS
• เวลาตอบสนอง: 1 วินาที
• การลดแรงดันอากาศ: <0.01MPa
• แรงดันสูงสุด: 3MP
• อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน: 5～45°C
• สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต: 0~+5.00V
• กำลังไฟ: +15V 50mA -15V 50mA
• ขนาด: 158*30*110
• น้ำหนัก: 0.9 กก.
4. การกำหนดค่าระบบจ่ายก๊าซ :
1. เครื่องวัดอัตราการไหลของโปรตอน: 3
2. มาตรวัดแรงดันเชิงกล (ช่วง -0.1~0.15MPa): 1
3. วาล์วตัดสแตนเลส: 4
4. ข้อต่อแผ่นสแตนเลส : 4
5. ข้อต่อวาล์วสแตนเลส: 2
6. ข้อต่อกระบอกสูบสแตนเลส: 3
7. ท่อ PTFE: 15M
8. ถังผสม Dia80X140MM : 1
9. ชั้นวางเตาเผา: 1 ชุด
ระบบสูญญากาศสูง VS
หน่วยปั๊มโมเลกุล
(ตัวเลือกที่ 1 หรือตัวเลือก 2)
| แรงดันไฟฟ้าอินพุตหน่วย | 380V /220V |
หีบเพลง | KF40X1000 |
วาล์วกั้นสุญญากาศ | เคเอฟ40 |
ขนาด | 600X600X600 |
ปั๊มโมเลกุล (ตัวเลือกที่ 1) | แบบอย่าง | FJ620 |
แรงดันไฟฟ้าขาเข้า | 380โวลต์ |
หน้าแปลนทางเข้า | DN160 |
อัตราการสูบ L/S (สู่อากาศ) | 600 |
ความดันสูงสุด (Pa) | 6×10-7 |
ประเภทของการทำความเย็น | ระบายความร้อนด้วยน้ำ |
แรงดันน้ำหล่อเย็น (MPa) | 0.1-0.2 |
อุณหภูมิน้ำหล่อเย็น | <25℃ |
อุณหภูมิสิ่งแวดล้อม | 0~40℃ |
แรงดันเริ่มต้นที่แนะนำ | <100pa |
ปั๊มสุญญากาศขั้นหน้า TRP-24 ของปั๊มโมเลกุล (ปั๊มโมเลกุล FJ620 จะต้องติดตั้งปั๊มรุ่นก่อนหน้า) (ตัวเลือกที่ 2
| 功率 | 0.75 กิโลวัตต์ |
电压 | 380โวลต์ |
转速 | 1450 รอบต่อนาที |
· เส้นผ่านศูนย์กลางทางเข้า | เคเอฟ25/เคเอฟ40 |
อัตราการสูบของเครื่องยนต์ด้านหน้า (L/S) | 6 |
แรงกดดันสูงสุด | 4X10 -2Pa |
ปั๊มสุญญากาศ Pfeiffer จากเยอรมนี (ตัวเลือกที่ 2) | แรงดันไฟฟ้า | 220โวลต์ |
พลัง | 110 วัตต์ |
อินเทอร์เฟซการสกัด | เคเอฟ40 |
น้ำหนัก | 150 กก. |
ความเร็วการสูบของเครื่องยนต์ด้านหน้า | 0.9ม.3/ชม. |
อัตราการสูบน้ำ (N2) | 33 ลิตร/วินาที |
เกจวัดสุญญากาศแบบคอมโพสิต | แบบอย่าง | แซดดีเอฟ |
แหล่งจ่ายไฟ | 220V 55W |
ความแม่นยำในการควบคุม | ± 1% |
ช่วงการวัดเกจวัดสุญญากาศ | 10-5 -10 5 พ. |
1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
