ระบบ CVD เตาเผาแบบท่อโซนเดียว Lab 1200C 

ระบบCVD ประกอบด้วยระบบจ่ายก๊าซ+ เตาเผาแบบท่อ+ ระบบสุญญากาศและอุณหภูมิสูงสุดสามารถเข้าถึง 1,200, 1,400, 1,600 และ 1,700 องศา โซนทำความร้อนอาจเป็นโซนอุณหภูมิเดียว โซนอุณหภูมิคู่ โซนอุณหภูมิสามโซน เป็นต้น สุญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึง10-3Pa ระบบจ่ายก๊าซอาจเป็นมาตรวัดอัตราการไหลแบบมวลหรือมาตรวัดอัตราการไหลแบบลอยตัวเพื่อควบคุมอัตราการไหล จำนวนช่องผสมอาจเป็น 2 ช่อง 3 ช่อง 4 ช่อง และ 5 ช่อง

พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียดของเตาเผาท่อ

พิมพ์	1200-1	1200-II	1200-III	1200 โวลต์	1200-VI	1200-7
พลัง	3.5 กิโลวัตต์	3.5 กิโลวัตต์	3.5 กิโลวัตต์	5 กิโลวัตต์	6 กิโลวัตต์	7 กิโลวัตต์
ขนาดท่อ (OD(มม.)	เส้นผ่านศูนย์กลาง 60 X1000	เส้นผ่านศูนย์กลาง 80X1000	เส้นผ่านศูนย์กลาง 100X1000	เส้นผ่านศูนย์กลาง 150X1000	เส้นผ่านศูนย์กลาง 200X1000	เส้นผ่านศูนย์กลาง 250X1000
ขนาด	1140X450X690	1140X450X690	1140X450X690	1110X530X755	1120X580X805	1314X680X905
แรงดันไฟฟ้าที่จ่าย	220โวลต์
เฟส	เฟสเดียว
องค์ประกอบความร้อน	ลวดต้านทาน
การควบคุมอุณหภูมิ	เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม UAV (มาตรฐาน) 1. โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ 30 ขั้นตอน ปรับ PID อัจฉริยะ 2. ด้วยระบบป้องกันอุณหภูมิสูงเกิน วงจรทำความร้อนของเตาไฟฟ้าจะถูกตัดโดยอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิสูงเกินหรือแตก (เมื่ออุณหภูมิของเตาไฟฟ้าเกิน 1,200 องศาหรือเทอร์โมคัปเปิลขาด รีเลย์ AC บนวงจรหลักจะถูกตัดการเชื่อมต่อโดยอัตโนมัติ วงจรหลักจะแตก ไฟเปิดบนแผงจะดับ ไฟปิดจะติด และเตาไฟฟ้าจะถูกจำกัดการป้องกัน) 3. พร้อมอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐานเมื่อซื้อซอฟต์แวร์) 4. พร้อมฟังก์ชั่นป้องกันการปิดเครื่อง นั่นคือ เมื่อเปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่องแล้ว โปรแกรมจะไม่เริ่มทำงานจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่อุณหภูมิของเตาจะสูงขึ้นตั้งแต่เวลาที่ไฟฟ้าดับ 5. มิเตอร์มีฟังก์ชั่นปรับอุณหภูมิอัตโนมัติ (ต้องเสียเงินเพิ่มเพื่อเปลี่ยนเครื่องมือที่นำเข้ามาเป็นทางเลือก)                                                                                               เครื่องควบคุมอุณหภูมิ FP93 (ชิมะชิมะ ประเทศญี่ปุ่น) เครื่องมือยุโรป เครื่องมือหน้าจอสัมผัส
วัสดุห้อง	1. เตาบ่มไฟเบอร์โพลีคริสตัลไลน์อะลูมินาความบริสุทธิ์สูงคุณภาพสูงที่เกิดจากการกรองด้วยการดูดสูญญากาศ 2. สร้างขึ้นด้วยเทคโนโลยีญี่ปุ่น 3. ระยะห่างและระยะห่างของเส้นลวดต้านทานในเตาเผาได้รับการจัดเรียงตามเทคโนโลยีความร้อนที่ดีที่สุดในญี่ปุ่น และจำลองฟิลด์อุณหภูมิด้วยซอฟต์แวร์ความร้อน
วาล์วและหน้าแปลน
มุมมองด้านบน 60/80/100
การสอบเทียบอุณหภูมิ (ทางเลือก)	การสอบเทียบอุณหภูมิเตาเผาแบบท่ออย่างสม่ำเสมอจะช่วยรักษาความแม่นยำและความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในเตาเผา คุณสามารถซื้อเครื่องมือสอบเทียบง่ายๆ จากบริษัทเพื่อช่วยคุณในงานนี้ ชุดสอบเทียบครบชุดประกอบด้วยเทอร์โมคัปเปิลมาตรฐานชนิด S สำหรับสอบเทียบอุณหภูมิ
การควบคุมความแม่นยำ	+/- 1℃
สิ่งกระตุ้น	ทริกเกอร์แบบเฟสชิฟต์
เครื่องใช้ไฟฟ้า	เจ้อเจียงชินท์
ควบคุมด้วยซิลิคอน	106/16เอเซมิโครน
อุณหภูมิสูงสุด	1200℃
อุณหภูมิที่กำหนด	1150℃
อัตราความร้อน	≤30℃/นาที (สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามความต้องการ)
อัตราการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิที่แนะนำ	≤15 ℃/นาที
ประเภทเทอร์โมคัปเปิล	ประเภท K
ความยาวในการให้ความร้อน	400-440 มม.
ความยาวอุณหภูมิคงที่	150 มม.
เส้นโค้งสนามอุณหภูมิ
อุณหภูมิพื้นผิวรอบนอก	≤45℃
ระบบป้องกันฝาเปิด	เมื่อฝาเตาเปิด รีเลย์จะตัดแหล่งจ่ายไฟหลักโดยอัตโนมัติ เพื่อความปลอดภัยของผู้ใช้

ระบบสุญญากาศ VS-0.1 (VRD16)

 ระบบ (สามารถปั๊มสุญญากาศในเตาเผาท่อได้ถึง 0.6Pa) ประกอบด้วยหน้าแปลนดูด (ทำเอง) พร้อมอินเทอร์เฟซ KF25, วิธีการกั้นสุญญากาศสูง, มาตรวัดสุญญากาศที่มีความต้านทาน, หนังหีบเพลง, ขาตั้ง (ทำเอง), ปั๊มสุญญากาศ เชื่อมต่อท่อสามทางที่ทางออกหน้าแปลน เชื่อมต่อซิลิโคนที่มีความต้านทานเข้ากับปลายด้านหนึ่งของท่อสามทาง เชื่อมต่อวาล์วแฟลปเปอร์สุญญากาศสูงเข้ากับปลายอีกด้านหนึ่ง เชื่อมต่อวาล์วแฟลปเปอร์และปั๊มสุญญากาศด้วยแผ่นลูกฟูกของ Dia25 และใช้แคลมป์ด่วน KF25 สำหรับพอร์ตเชื่อมต่อ

1. ระบบตรวจจับแรงดัน

   เกจวัดสุญญากาศความต้านทานเดี่ยวชนิด ZDR-I/ZDR-I-LED

     เกจวัดความต้านทานสุญญากาศ (หรือที่รู้จักกันในชื่อเกจวัดสูญญากาศ Pirani) ใช้เกจวัดความต้านทาน ZJ-52T ที่ได้รับการปรับเสถียรภาพเป็นพิเศษ และใช้โหมดการทำงานอุณหภูมิคงที่แบบใหม่กับกำลังไฟฟ้าคงที่ ขณะเดียวกัน ไมโครโปรเซสเซอร์ยังใช้ควบคุมความไม่เชิงเส้นของการควบคุม การประมวลผลเชิงเส้น มีคุณสมบัติเด่นคือประสิทธิภาพที่เสถียร ช่วงการวัดที่กว้าง การตอบสนองที่รวดเร็ว และค่าความคลาดเคลื่อนต่ำ การควบคุมรีเลย์ด้วยไมโครโปรเซสเซอร์ที่ทรงพลังและเชื่อถือได้ เอาต์พุตการสื่อสารแบบอนุกรม เอาต์พุตอนาล็อกสุญญากาศ และฟังก์ชันอื่นๆ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการวัดและควบคุมสุญญากาศแบบหยาบและแบบต่ำ

2. พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

* การควบคุมการกระจาย: เกจวัดความต้านทาน ZJ-52T

* ช่วงการวัด: 10 5～10 -1 Pa

* จำนวนการวัด : 1 ทาง

* จำนวนช่องควบคุม : 2 ช่อง สามารถขยายเป็น 4 ช่อง หรือ 8 ช่องได้

* ช่วงควบคุม: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pa

* โหมดควบคุม: เอาต์พุตหน้าสัมผัสรีเลย์ ความจุโหลด AC220V/3A (หรือ DC28V/3A) โหลดที่ไม่เหนี่ยวนำ

* กำลังไฟ: 90-260V/50Hz หรือ 220V ± 10% 50Hz

* การใช้พลังงาน: 25W

* น้ำหนัก: 4กก./3กก./0.5กก. (ขึ้นอยู่กับตัวถัง)

* ขนาดตัวถัง : 240 × 88 × 280 หรือ 265 × 119 × 280 หรือ 96 × 96 × 120

480 × 88 × 280 หรือ 480 × 119 × 280 (กว้าง × สูง × ลึก)

3. ลักษณะการทำงาน:

*จอแสดงผลแบบดิจิตอล LED สีเขียว

* การสำรวจดวงดาวที่หลากหลาย

* ความเร็วในการตอบสนองรวดเร็ว

* การแก้ไขด้วยไมโครคอมพิวเตอร์ควบคุมความไม่เชิงเส้นและลดข้อผิดพลาดในการวัด

* การแยกแสง การกรองแบบดิจิทัล ความสามารถในการป้องกันการรบกวนที่ได้รับการปรับปรุง

* แผงสี PVC รูปลักษณ์สวยงาม

* การควบคุมจุดหรือเอาต์พุตการควบคุมรีเลย์พื้นที่ ในขณะที่จุดตั้งค่ามีฟังก์ชั่นหน่วยความจำการป้องกันการจ่ายไฟ  

4. ใช้ปั๊มสุญญากาศ VRD16

ระบบจ่ายก๊าซแบบมิเตอร์วัดอัตราการไหลของมวล 2 ช่อง

1. ภาพรวม

1) ก๊าซจะไหลออกจากกระบอกสูบ ระบายความดันผ่านวาล์วลดความดัน ผ่านท่อ PTFE ไปยังทางเข้าของระบบจ่ายก๊าซ จากนั้นควบคุมการไหลของก๊าซผ่านมาตรวัดอัตราการไหลของมวล จากนั้นจึงผ่านถังผสมก๊าซเข้าสู่ทางเข้าเตาเผา และก๊าซจะถูกระบายออก หลอดลมจะไหลผ่านวาล์วสามทาง ปลายด้านหนึ่งเชื่อมต่อกับปั๊มสุญญากาศ และปลายอีกด้านหนึ่งเชื่อมต่อกับทางออกของอากาศ

2) มาตรวัดแรงดันเชื่อมต่อกับถังผสมก๊าซ และติดตั้งแผ่นแสดงมาตรวัดแรงดันและมาตรวัดอัตราการไหลของมวลบนแผงเดียวกัน

3) ท่อแก๊สแต่ละเส้นมีวาล์วปิดแรงดันสูงเพื่อความปลอดภัย

4) เส้นทางก๊าซใช้เครื่องวัดอัตราการไหลแบบลอยตัวของก๊าซที่มีความแม่นยำสูง และส่วนด้านในของเส้นทางก๊าซใช้ท่อ PTFE ซึ่งมีความทนทานต่อการกัดกร่อนที่ดี

5) ข้อต่อทั้งหมดเชื่อมต่อกันด้วยปลอกหุ้มซึ่งมีความแน่นหนาของอากาศและทนต่อแรงดันสูง

2. พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

ช่องอากาศ: 2

การควบคุมการไหลของลม: ตัวควบคุมการไหลของมวล

อินเทอร์เฟซ: Φ6

จอแสดงผล: LED

อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน: 5~45°C

ตัวควบคุมการไหล: ตัวควบคุมการไหลของมวล (ดูรายละเอียดพารามิเตอร์ทางเทคนิคด้านล่าง)

ท่อ PTFE: Φ6 ด้านนอก XΦ4

เกจวัดแรงดันสุญญากาศ: -0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/division

วาล์วโลก: Φ6

3. แรงดันภายในระบบจ่ายแก๊สไม่ควรมากเกินไป มิฉะนั้น อาจทำให้เกิดการรั่วไหลของอากาศได้ง่าย ตราบใดที่แก๊สยังไหลออกได้ตามปกติ

4. การกำหนดค่าระบบจ่ายก๊าซ :

1) เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล: 2

2) เกจวัดแรงดัน : 1

3) วาล์วตัด: 3

4) ผ่านขั้วต่อบอร์ด: 3

5) ขั้วต่อวาล์ว: 2

6) ข้อต่อกระบอกสูบ: 2

7) ท่อเทฟลอน: 10M

8) ถังเติมอากาศ: 1

9) ชั้นวางเตา: 1 ชุด

พารามิเตอร์ทางเทคนิคของมาตรวัดอัตราการไหลแบบมวล: ตัวควบคุมอัตราการไหลแบบมวลชนิดทั่วไป วงจรแอนะล็อก ซีลยาง ชันท์แบบท่อ ไม่อุดตันง่าย

ตัวชี้วัดหลัก:

ช่วง: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (สามารถเลือกช่วงได้ตามต้องการ)

• ความแม่นยำ: ±1.5% FS

• เชิงเส้น: ±0.5 ถึง 1.5% FS

• ความสามารถในการทำซ้ำ: ±0.2% FS

• เวลาตอบสนอง: 10 วินาที

• การลดแรงดันอากาศ: <0.01MPa

• แรงดันสูงสุด: 3MP

• อุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน: 5～45°C

• สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต: 0~+5.00V

• กำลังไฟ: +15V 50mA -15V 50mA

• ขนาด: 158*30*110

1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก

2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด

3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี