เครื่องเคลือบไอออนสปัตเตอร์ RF+DC แมกนีตรอนสูญญากาศสูง
รุ่น: TMAX -BY-JS12| – ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิค
พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
ระบบปั๊มสุญญากาศ | ปั๊มโรตารีเวน (หล่อลื่นด้วยน้ำมัน) + ชุดปั๊มโมเลกุลเทอร์โบแบบไร้น้ำมัน |
ความเร็วของปั๊มโรตารี่ | 50Hz: 16m³/ชม. (4.4 ลิตร/วินาที) | 60Hz: 19.2m³/ชม. (5.2 ลิตร/วินาที) |
ความเร็วของปั๊มโมเลกุล | 300 ลิตร/วินาที |
เครื่องดูดฝุ่นขั้นสูงสุด | 5 × 10⁻⁴ ปา |
แรงดันการทำงาน | 0.5 – 5 ปาสคาล |
เวลาหยุดปั๊ม | >10 นาที (ถึง 10 Pa) |
การวัดสูญญากาศ | ช่วง: บรรยากาศถึง 10⁻⁴ Pa |
การควบคุมก๊าซ | ตัวควบคุมการไหลของมวล (MFC) |
ขนาดห้อง | φ260มม. × 200มม. (ห้องโลหะ) |
แหล่งแมกนีตรอนเป้าหมาย | ขนาดเป้าหมาย: φ50มม. × 3มม. (ทองแดง) เข้ากันได้กับวัสดุแม่เหล็กอ่อน |
วิธีการใช้งาน | การควบคุมด้วยตนเอง (มีคู่มือการใช้งานให้) |
น้ำหนัก / ขนาด | 100กก. / 610มม. (ยาว) × 420มม. (กว้าง) × 490มม. (สูง) |
แหล่งจ่ายไฟ | AC 110V 60Hz หรือ AC 220V 50Hz |
การใช้พลังงาน | <3000 วัตต์ |
ระบบระบายความร้อน | ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศ (ปั๊ม) + ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ (เป้าสปัตเตอร์) |
การรับประกัน | การรับประกันแบบจำกัด 1 ปี พร้อมการสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน |
คุณสมบัติหลักและแอปพลิเคชัน
ข้อได้เปรียบหลัก
1. การสปัตเตอร์แบบหลายโหมด
รองรับ โหมด RF (ความถี่วิทยุ) , DC (กระแสตรง)และ RF+DC Hybrid สำหรับการเคลือบวัสดุที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า ฉนวน และคอมโพสิต
2. เสถียรภาพสูญญากาศสูง
ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ (300 ลิตร/วินาที) ทำงานร่วมกับปั๊มโรเตอรี่ ช่วยให้เกิดสุญญากาศสูงสุดที่ 5×10⁻⁴ Paรับประกันความบริสุทธิ์สูงและฟิล์มที่สม่ำเสมอ
3. ความเข้ากันได้ที่ยืดหยุ่น
· ขนาดห้อง (φ260 มม. × 200 มม.) รองรับตัวอย่างขนาดเล็กถึงขนาดกลาง
เป้าหมายขนาด φ50 มม . รองรับทองแดงและวัสดุแม่เหล็กอ่อนสำหรับการใช้งานที่หลากหลาย
4. ระบบระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ
· เป้าหมายระบายความร้อนด้วยน้ำ ช่วยลดภาระความร้อนในระหว่างการสปัตเตอร์ที่มีกำลังสูง
· ปั๊มระบายความร้อนด้วยอากาศ ช่วยลดต้นทุนการบำรุงรักษาสำหรับการทำงานต่อเนื่อง
การใช้งานทั่วไป
· สาขาการวิจัย
การสะสมฟิล์มบาง การเคลือบนาโนโครงสร้าง การพัฒนาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
· การใช้ในอุตสาหกรรม
การเคลือบออปติคอล ชั้นต้านทานการสึกหรอ การปรับเปลี่ยนพื้นผิวของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์
1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
