ความเร็วในการสูบแบบหมุน

50 เฮิรตซ์ : 16ม. ³ /ชม. (4.4 ลิตร/วินาที) / 60 เฮิรตซ์ : 19.2ม./ชม. (5.2 ลิตร/วินาที)

ความเร็วในการสูบโมเลกุล

300 ลิตร/วินาที

ขีดจำกัดสุญญากาศ

5 x10 ^-5ปาสคาล

แรงดันการทำงาน

0.5-5 ปาสคาล

เวลาการดูดฝุ่น

>10 นาที (10 ^-3 Pa)

เครื่องวัดสูญญากาศ

ช่วงการวัดตั้งแต่บรรยากาศถึง 10 ^-6 Pa

การควบคุมก๊าซ

ตัวควบคุมการไหลของก๊าซ

ขนาดห้อง

φ 260*200มม. (สูง) โลหะ

แหล่งแมกนีตรอนเป้าหมาย

ขนาดเป้าหมายφ50*3มม. (Cu) / แหล่งเป้าหมาย: สาร / วัสดุแม่เหล็กอ่อน

วิธีการใช้งาน

คู่มือการใช้งาน

น้ำหนัก / ขนาด

100กก. / ยาว610มม.*กว้าง420มม.*สูง490มม.

แหล่งจ่ายไฟ

AC 110V 60Hz หรือ AC 220V 50Hz

การใช้พลังงาน

<3000 วัตต์

วิธีการทำความเย็น

ระบบระบายความร้อนด้วยอากาศ (ปั๊ม) + ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ (จุดสปัตเตอร์)

การรับประกัน

การรับประกันแบบจำกัดหนึ่งปีพร้อมการสนับสนุนผลิตภัณฑ์ตลอดอายุการใช้งาน