เครื่องเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอนแบบตั้งโต๊ะสำหรับการเคลือบฟิล์มบางแบบนำไฟฟ้า
รุ่น: TMAX -BY-JS06-ก้าน Sy แบบตั้งโต๊ะสำหรับห้องปฏิบัติการวิจัยและพัฒนาและการศึกษา
ภาพรวม
TMAX -BY-JS06 เป็น ระบบสปัตเตอริงแมกนีตรอนสุญญากาศสูงขนาดกะทัดรัด คุ้มค่าออกแบบมาสำหรับการทดลองระดับนำร่องในห้องปฏิบัติการวิจัยและการศึกษา ประกอบด้วยส่วนประกอบสำคัญต่างๆ ได้แก่ ห้องสุญญากาศสปัตเตอริง, เป้าแม่เหล็กถาวร (สนามแม่เหล็กแรงสูง/อ่อน), แท่นหมุนไฟเบอร์ออปติก (ปรับแต่งได้), แหล่งจ่ายไฟ DC, ระบบจ่ายก๊าซ, ระบบสูบน้ำ, ระบบระบายความร้อนด้วยน้ำ, ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์ม, ระบบวัดสุญญากาศ, ระบบควบคุมอิเล็กทรอนิกส์ และโครงยึดที่แข็งแรง
พารามิเตอร์ที่สำคัญ
พารามิเตอร์ | ข้อมูลจำเพาะ |
ก๊าซสปัตเตอร์ | ปรับได้ (เช่น อาร์กอน ไนโตรเจน ฯลฯ ขึ้นอยู่กับข้อกำหนดของการทดลอง) |
วัสดุเป้าหมาย | มาตรฐาน: เป้าหมายทองคำ; ทางเลือก: เงิน ทองแดง โครเมียม ฯลฯ |
การกำหนดค่าเป้าหมาย | 50มม. (เป้าแม่เหล็กอ่อน) / 60มม. (เป้าแม่เหล็กแรง) |
กระแสสปัตเตอร์ | 0–500mA |
เครื่องดูดฝุ่นขั้นสูงสุด | ≤5×10−4 พ. |
ขนาดห้อง | เส้นผ่านศูนย์กลาง: 180 มม. ความสูง: 200 มม. |
เวทีตัวอย่าง | แท่นหมุนไฟเบอร์ออปติก (ปรับแต่งได้) |
แรงดันไฟฟ้าในการทำงาน | 230V, 50Hz |
แอพพลิเคชั่นและคุณสมบัติ
1. การเคลือบสำหรับตัวอย่างที่ไวต่อลำแสงอิเล็กตรอน
· เหมาะสำหรับ : ตัวอย่างทางชีวภาพ โพลิเมอร์ และวัสดุที่ไวต่อลำแสงอื่นๆ
· ข้อดี : ในการถ่ายภาพด้วย SEM ลำแสงอิเล็กตรอนพลังงานสูงสามารถสร้างความเสียหายจากความร้อนต่อตัวอย่างที่บอบบางได้ การเคลือบตัวนำแบบสปัตเตอร์บางๆ (เช่น ทองคำหรือคาร์บอน) ทำหน้าที่เป็นชั้นป้องกัน ช่วยรักษาความสมบูรณ์ของตัวอย่างและยกระดับคุณภาพของภาพ
2. ตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้า
· เหมาะสำหรับ : วัสดุฉนวน (เช่น เซรามิก แก้ว หรือสารประกอบอินทรีย์)
· ข้อดี : ตัวอย่างที่ไม่นำไฟฟ้าจะสะสมประจุบนพื้นผิว ("ปรากฏการณ์ประจุ") ภายใต้ลำแสงอิเล็กตรอน ทำให้ภาพ SEM บิดเบี้ยว ชั้นโลหะนำไฟฟ้าแบบสปัตเตอร์ (เช่น ทองคำหรือแพลตินัม) ช่วยกระจายประจุ ขจัดสิ่งแปลกปลอมและปรับปรุงอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนเพื่อภาพที่คมชัดยิ่งขึ้น
3. การผลิตอิเล็กโทรดและการศึกษาการนำไฟฟ้า
· เหมาะสำหรับ : วัสดุใหม่ที่ต้องการอิเล็กโทรดนำไฟฟ้าเพื่อวิเคราะห์คุณสมบัติทางไฟฟ้า
· ข้อดี : ช่วยให้การสะสมฟิล์มนำไฟฟ้าบางๆ แม่นยำสำหรับการผลิตอิเล็กโทรดทดลอง อำนวยความสะดวกในการศึกษาเกี่ยวกับสภาพนำไฟฟ้าของวัสดุ
1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี
