

David Yuan


18659217588

ผู้ติดต่อ: David Yuan
เบอร์ติดต่อ:18659217588
ยี่ห้อ :
TMAXแบบอย่าง:
TMAX-1600PECVDวิธีการชำระเงิน :
L/C, Western Union, Paypalใบรับรอง :
CE, ROHSเวลาการจัดส่งสินค้า :
5 วันเตาเผา PECVD 1600C พร้อมระบบจ่ายก๊าซและระบบสุญญากาศ
ระบบ PECVD ประกอบด้วยเตาหลอมแบบท่อ ห้องสุญญากาศควอตซ์ ระบบสุญญากาศ ระบบจ่ายก๊าซ และระบบจ่ายพลังงานคลื่นความถี่วิทยุ ส่วนใหญ่ใช้สำหรับ: การเจริญเติบโตของฟิล์มบางโลหะ ฟิล์มบางเซรามิก ฟิล์มบางคอมโพสิต กราฟีน และอื่นๆ สามารถเพิ่มฟังก์ชันต่างๆ ได้ง่าย และสามารถขยายฟังก์ชันต่างๆ เช่น การทำความสะอาดพลาสมาและการกัด ระบบ PECVD มีข้อดีคืออัตราการสะสมฟิล์มสูง ความสม่ำเสมอที่ดี ความสม่ำเสมอสูง และความเสถียรสูง
พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียด
แบบอย่าง | TL1600-I |
พลัง | 5 กิโลวัตต์ |
ขนาดท่อ (OD) (มม.) | ท่อคอรันดัมที่มีความบริสุทธิ์สูง: 60 มม. (เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ) มีปลั๊กเตาเผาสองอันติดตั้งอยู่แต่ละด้าน ปลั๊กเตาเผาสามารถปิดกั้นรังสีความร้อนที่อยู่ตรงกลางท่อเตาเผาได้ และต้องติดตั้งในตำแหน่งที่ถูกต้องในเตาเผาก่อนการให้ความร้อน |
มิติ | 1120X490X855 |
แรงดันไฟฟ้าที่จ่าย | 220โวลต์ |
เฟส | เฟสเดียว |
องค์ประกอบความร้อน | แท่งซิลิคอนโมลิบดีนัมรุ่น 1800 |
ประเภทการควบคุมอุณหภูมิ | ใช้เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม Yudian (มาตรฐาน) 1. โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ 30 ส่วน ปรับ PID อัจฉริยะ 2. ด้วยระบบป้องกันอุณหภูมิสูงเกิน วงจรทำความร้อนของเตาไฟฟ้าจะถูกตัดโดยอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิสูงเกินหรือเมื่อตัวเชื่อมขาด (ไฟ ON บนแผงจะดับ ไฟ OFF จะติด และเตาไฟฟ้าจะได้รับการป้องกันในระดับจำกัด) 3. มีอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐานพร้อมซอฟต์แวร์เสริม) 4. มีฟังก์ชั่นป้องกันไฟฟ้าดับ นั่นคือ เมื่อเตาเปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่องแล้ว โปรแกรมจะไม่เริ่มทำงานจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่จะเริ่มทำงานจากอุณหภูมิเตาเมื่อปิดเครื่อง 5.มิเตอร์มีฟังก์ชั่นปรับอุณหภูมิอัตโนมัติ
(ต้องเสียเงินเพิ่มเพื่อเปลี่ยนเครื่องมือที่นำเข้ามาเป็นทางเลือก) เครื่องมือ FP93 เครื่องมือ EUROTHERM เครื่องมือหน้าจอสัมผัส (ชิมะเดน ประเทศญี่ปุ่น) |
วัสดุห้อง | 1. วัสดุของเตาผิงผลิตจากเส้นใยโพลีคริสตัลไลน์อะลูมินาคุณภาพสูง 2. พื้นผิวของเตาเผาด้านในเคลือบด้วยสารเคลือบอะลูมินาที่นำเข้าที่อุณหภูมิสูง 1,800 องศา ซึ่งสามารถเพิ่มการแผ่รังสีความร้อนและทำให้สนามอุณหภูมิสมดุลมากขึ้น |
วาล์วและหน้าแปลน |
|
การควบคุมความแม่นยำ | +/- 1℃ |
สิ่งกระตุ้น | ทริกเกอร์แบบเฟสชิฟต์ |
เครื่องใช้ไฟฟ้า | เจ้อเจียงชินท์ |
ควบคุมด้วยซิลิคอน | 106/16E เซมิครอน |
อุณหภูมิสูงสุด | 1600℃ |
อุณหภูมิที่กำหนด | 1550℃ |
อัตราความร้อน | ≤20℃/นาที (สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามความต้องการ) |
อัตราการให้ความร้อนที่แนะนำ | ≤10 ℃/นาที |
แบบจำลองเทอร์โมคัปเปิล | ประเภท B |
ความยาวของส่วนทำความร้อน | 300 มม. |
อุณหภูมิพื้นผิวโดยรอบ | ≤45℃ |
ระบบสุญญากาศ |
ระบบสุญญากาศ VS-0.1 ระบบสูญญากาศ VS-0.1 สามารถวาดระดับสูญญากาศในท่อเตาเผาได้ถึง 0.1Pa (และติดตั้งมาตรวัดสูญญากาศที่มีความต้านทาน) พร้อมจอแสดงผลแบบดิจิตอล LED สีเขียว ใช้ปั๊มสุญญากาศ VRD16 วีอาร์ดี16ศัพท์เทคนิคข้อมูลจำเพาะวีอาร์ดี-16ความเร็วในการสูบน้ำ m³/h(L/s)50เฮิรตซ์16 ม³/ชม.4.4 ลิตร/วินาที60 เฮิรตซ์19.2 ม³/ชม.5.2 ลิตร/วินาทีจำกัดความดันย่อย - ไม่มีบัลลาสต์ก๊าซ (Pa)4x10-2จำกัดความดันรวม - ไม่มีบัลลาสต์ก๊าซ (Pa)4x10-1ความดันรวมจำกัด - บัลลาสต์แก๊ส (Pa)8x10-1แหล่งจ่ายไฟเฟสเดียว/สามเฟสกำลังมอเตอร์ (กิโลวัตต์)0.75 กิโลวัตต์/0.55 กิโลวัตต์การเชื่อมต่อทางเข้า/ทางออกDNเคเอฟ25ความจุน้ำมัน0.9-1.5 ลิตรความเร็วมอเตอร์ (รอบต่อนาที)50เฮิรตซ์1440 รอบต่อนาที |
ระบบจ่ายก๊าซ |
ระบบจ่ายก๊าซมิเตอร์วัดอัตราการไหลของก๊าซ พารามิเตอร์ทางเทคนิค: l ช่องลม: 6 l การควบคุมการไหลของลม: ใช้เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล l ขนาดตู้: 600X600X600mm l พร้อมจอแสดงผล LED l พารามิเตอร์ทางเทคนิคของเครื่องวัดอัตราการไหลมวล: อินเทอร์เฟซΦ6แสดงนำอุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน5~45℃ตัวควบคุมการไหลใช้ตัวควบคุมการไหลของโปรตอน โปรดดูด้านหลังท่อสแตนเลสΦ6 ด้านนอก X Φ4 ด้านในโต๊ะสูญญากาศแรงดัน-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/divวาล์วหยุดΦ6การควบคุมการไหลระบบควบคุมอัจฉริยะ PLC พารามิเตอร์ทางเทคนิคของตัวควบคุมการไหลของมวล: คำอธิบายสินค้า : ประเภททั่วไป วงจรอนาล็อก คำอธิบายรายละเอียดสินค้า: ชนิดธรรมดา วงจรอนาล็อก ซีลยาง ชันท์แบบท่อ ไม่อุดตันง่าย ตัวชี้วัดหลัก: พิสัย 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (คุณสามารถเลือกช่วงใดก็ได้) โปรดยืนยันเมื่อคุณทำการสั่งซื้อความแม่นยำ ±1% FS เชิงเส้น 0.5% เอฟเอสความสามารถในการทำซ้ำ ±0.2% เอฟเอสเวลาตอบสนอง 1ส.การลดลงของความดันอากาศ <0.01 เมกะปาสคาลแรงดันสูงสุด 3MPอุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน 5~45℃สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต 0~+5.00โวลต์แหล่งจ่ายไฟ +15V 50mA -15V 50mAขนาด 158*30*110น้ำหนัก 0.9 กก. การกำหนดค่าระบบจ่ายก๊าซ : เครื่องวัดอัตราการไหลของโปรตอน 6เกจวัดแรงดันเชิงกล (ช่วง -0.1~0.15MPa) 1วาล์วโลกสแตนเลส 6ข้อต่อแผ่นทะลุสแตนเลส 6ข้อต่อวาล์วสแตนเลส 2ข้อต่อกระบอกสูบสแตนเลส 6ท่อ PTFE 30 ล้านถังผสมแก๊ส Dia80X140MM 1โครงเตาเผา 1 ชุด |
พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลักของแหล่งจ่ายไฟ RF:
ช่วงกำลังขับ | 0-500 วัตต์ |
กำลังสะท้อนสูงสุด | 200 วัตต์ |
ความถี่ในการทำงาน | ความถี่: 13.56 เมกะเฮิรตซ์ ±0.005% |
เสถียรภาพด้านพลังงาน | +/-0.1% |
ส่วนประกอบฮาร์มอนิก | ≤-50dbc |
ความกว้างของภูมิภาค Rf | ปรับได้0-600 มม. |
วิธีจับคู่ | อัตโนมัติ |
โหมดทำความเย็น | จุดเย็น |
เสียงรบกวน | <50เดซิเบล |
อินเทอร์เฟซความถี่วิทยุ | ชนิด N 50Ω |
กำลังไฟเข้า | 208-240V 50/60HZ |
การรับประกัน
การรับประกันหนึ่งปีและการสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน
หมายเหตุพิเศษ:
1. ชิ้นส่วนสิ้นเปลือง เช่น ตัวทำความร้อน ท่อเตา เบ้าหลอมตัวอย่าง ฯลฯ ไม่อยู่ในระยะเวลารับประกัน
2. ความเสียหายที่เกิดจากการใช้ก๊าซกัดกร่อนและก๊าซกรดจะไม่ได้รับการคุ้มครองภายใต้การรับประกัน
ข้อควรระวัง
1. แรงดันอากาศในท่อเตาไม่ควรเกิน 0.02MPa
2. เนื่องจากแรงดันอากาศภายในถังแก๊สสูง จึงต้องติดตั้งวาล์วระบายความดันที่ถังแก๊สเมื่อเติมแก๊สเข้าไปในท่อเตาเผา เพื่อความปลอดภัย แนะนำให้ใช้แรงดันต่ำกว่า 0.02 MPa
3. เมื่อท่อเตาเผาที่ใช้เป็นท่อคอรันดัม เมื่ออุณหภูมิตัวเตาเผาสูงกว่า 1,500 ℃ ท่อเตาเผาไม่ควรอยู่ในสถานะสุญญากาศ และความดันอากาศในท่อเตาเผาควรเท่ากับความดันบรรยากาศ
4. อัตราการไหลของก๊าซเข้าสู่ท่อเตาเผาควรน้อยกว่า 200SCCM เพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบของการไหลของอากาศเย็นต่อท่อเตาเผาที่ร้อน
5. สำหรับการทดลองให้ความร้อนตัวอย่าง ไม่แนะนำให้ปิดวาล์วไอเสียและวาล์วทางเข้าของปลายหน้าแปลนท่อเตา หากจำเป็นต้องปิดวาล์วแก๊สเพื่อให้ความร้อนตัวอย่าง ควรสังเกตตัวบ่งชี้ของมาตรวัดความดันเสมอ หากความดันสูงกว่า 0.02 MPa ควรเปิดวาล์วไอเสียทันทีเพื่อป้องกันอุบัติเหตุ (เช่น ท่อเตาแตก หน้าแปลนกระเด็นออก ฯลฯ)
6. ห้ามใช้เบ้าหลอมกราไฟต์ในหลอดอะลูมินา
7. ไม่ควรใช้องค์ประกอบความร้อน MoSi2 ที่อุณหภูมิต่ำ (400℃-700℃) เป็นเวลานาน มิฉะนั้น อาจทำให้องค์ประกอบความร้อนเสียหายได้











1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก
2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด
3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี






