other
ผลิตภัณฑ์

เตาเผา CVD 1600C พร้อมระบบจ่ายก๊าซและระบบสุญญากาศ

ผู้ติดต่อ: David Yuan

เบอร์ติดต่อ:18659217588

  • ยี่ห้อ :

    TMAX
  • แบบอย่าง:

    TMAX-1600PECVD
  • วิธีการชำระเงิน :

    L/C, Western Union, Paypal
  • ใบรับรอง :

    CE, ROHS
  • เวลาการจัดส่งสินค้า :

    5 วัน
  • ข้อมูลผลิตภัณฑ์

เตาเผา PECVD 1600C พร้อมระบบจ่ายก๊าซและระบบสุญญากาศ

 



ระบบ PECVD ประกอบด้วยเตาหลอมแบบท่อ ห้องสุญญากาศควอตซ์ ระบบสุญญากาศ ระบบจ่ายก๊าซ และระบบจ่ายพลังงานคลื่นความถี่วิทยุ ส่วนใหญ่ใช้สำหรับ: การเจริญเติบโตของฟิล์มบางโลหะ ฟิล์มบางเซรามิก ฟิล์มบางคอมโพสิต กราฟีน และอื่นๆ สามารถเพิ่มฟังก์ชันต่างๆ ได้ง่าย และสามารถขยายฟังก์ชันต่างๆ เช่น การทำความสะอาดพลาสมาและการกัด ระบบ PECVD มีข้อดีคืออัตราการสะสมฟิล์มสูง ความสม่ำเสมอที่ดี ความสม่ำเสมอสูง และความเสถียรสูง


พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียด

 แบบอย่าง

TL1600-I

พลัง

5 กิโลวัตต์

 ขนาดท่อ (OD) (มม.)

ท่อคอรันดัมที่มีความบริสุทธิ์สูง: 60 มม. (เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ)

มีปลั๊กเตาเผาสองอันติดตั้งอยู่แต่ละด้าน ปลั๊กเตาเผาสามารถปิดกั้นรังสีความร้อนที่อยู่ตรงกลางท่อเตาเผาได้ และต้องติดตั้งในตำแหน่งที่ถูกต้องในเตาเผาก่อนการให้ความร้อน

มิติ

1120X490X855

แรงดันไฟฟ้าที่จ่าย

220โวลต์

เฟส

เฟสเดียว

องค์ประกอบความร้อน

แท่งซิลิคอนโมลิบดีนัมรุ่น 1800

ประเภทการควบคุมอุณหภูมิ

ใช้เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม Yudian (มาตรฐาน)

1. โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ 30 ส่วน ปรับ PID อัจฉริยะ

2. ด้วยระบบป้องกันอุณหภูมิสูงเกิน วงจรทำความร้อนของเตาไฟฟ้าจะถูกตัดโดยอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิสูงเกินหรือเมื่อตัวเชื่อมขาด (ไฟ ON บนแผงจะดับ ไฟ OFF จะติด และเตาไฟฟ้าจะได้รับการป้องกันในระดับจำกัด)

3. มีอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐานพร้อมซอฟต์แวร์เสริม)

4. มีฟังก์ชั่นป้องกันไฟฟ้าดับ นั่นคือ เมื่อเตาเปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่องแล้ว โปรแกรมจะไม่เริ่มทำงานจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่จะเริ่มทำงานจากอุณหภูมิเตาเมื่อปิดเครื่อง

5.มิเตอร์มีฟังก์ชั่นปรับอุณหภูมิอัตโนมัติ

(ต้องเสียเงินเพิ่มเพื่อเปลี่ยนเครื่องมือที่นำเข้ามาเป็นทางเลือก)

                                

เครื่องมือ FP93 เครื่องมือ EUROTHERM เครื่องมือหน้าจอสัมผัส

(ชิมะเดน ประเทศญี่ปุ่น)

วัสดุห้อง

 1. วัสดุของเตาผิงผลิตจากเส้นใยโพลีคริสตัลไลน์อะลูมินาคุณภาพสูง

2. พื้นผิวของเตาเผาด้านในเคลือบด้วยสารเคลือบอะลูมินาที่นำเข้าที่อุณหภูมิสูง 1,800 องศา ซึ่งสามารถเพิ่มการแผ่รังสีความร้อนและทำให้สนามอุณหภูมิสมดุลมากขึ้น

วาล์วและหน้าแปลน 

การควบคุมความแม่นยำ

   +/- 1℃

สิ่งกระตุ้น

    ทริกเกอร์แบบเฟสชิฟต์

เครื่องใช้ไฟฟ้า

  เจ้อเจียงชินท์

ควบคุมด้วยซิลิคอน

106/16E เซมิครอน

อุณหภูมิสูงสุด

 1600℃

อุณหภูมิที่กำหนด

 1550℃

อัตราความร้อน

 ≤20℃/นาที (สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามความต้องการ)

อัตราการให้ความร้อนที่แนะนำ

≤10 ℃/นาที

แบบจำลองเทอร์โมคัปเปิล

ประเภท B

ความยาวของส่วนทำความร้อน

300 มม.

อุณหภูมิพื้นผิวโดยรอบ

≤45℃

ระบบสุญญากาศ


                                                        

ระบบสุญญากาศ VS-0.1 

ระบบสูญญากาศ VS-0.1 สามารถวาดระดับสูญญากาศในท่อเตาเผาได้ถึง 0.1Pa (และติดตั้งมาตรวัดสูญญากาศที่มีความต้านทาน)

พร้อมจอแสดงผลแบบดิจิตอล LED สีเขียว

ใช้ปั๊มสุญญากาศ VRD16


วีอาร์ดี16ศัพท์เทคนิคข้อมูลจำเพาะวีอาร์ดี-16ความเร็วในการสูบน้ำ m³/h(L/s)50เฮิรตซ์16 ม³/ชม.4.4 ลิตร/วินาที60 เฮิรตซ์19.2 ม³/ชม.5.2 ลิตร/วินาทีจำกัดความดันย่อย - ไม่มีบัลลาสต์ก๊าซ (Pa)4x10-2จำกัดความดันรวม - ไม่มีบัลลาสต์ก๊าซ (Pa)4x10-1ความดันรวมจำกัด - บัลลาสต์แก๊ส (Pa)8x10-1แหล่งจ่ายไฟเฟสเดียว/สามเฟสกำลังมอเตอร์ (กิโลวัตต์)0.75 กิโลวัตต์/0.55 กิโลวัตต์การเชื่อมต่อทางเข้า/ทางออกDNเคเอฟ25ความจุน้ำมัน0.9-1.5 ลิตรความเร็วมอเตอร์ (รอบต่อนาที)50เฮิรตซ์1440 รอบต่อนาที

ระบบจ่ายก๊าซ

                             

ระบบจ่ายก๊าซมิเตอร์วัดอัตราการไหลของก๊าซ

พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

l ช่องลม: 6

l การควบคุมการไหลของลม: ใช้เครื่องวัดอัตราการไหลของมวล

l ขนาดตู้: 600X600X600mm

l พร้อมจอแสดงผล LED

l พารามิเตอร์ทางเทคนิคของเครื่องวัดอัตราการไหลมวล:

อินเทอร์เฟซΦ6แสดงนำอุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน5~45℃ตัวควบคุมการไหลใช้ตัวควบคุมการไหลของโปรตอน โปรดดูด้านหลังท่อสแตนเลสΦ6 ด้านนอก X Φ4 ด้านในโต๊ะสูญญากาศแรงดัน-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/divวาล์วหยุดΦ6การควบคุมการไหลระบบควบคุมอัจฉริยะ PLC


พารามิเตอร์ทางเทคนิคของตัวควบคุมการไหลของมวล:

คำอธิบายสินค้า : ประเภททั่วไป วงจรอนาล็อก

คำอธิบายรายละเอียดสินค้า: ชนิดธรรมดา วงจรอนาล็อก ซีลยาง ชันท์แบบท่อ ไม่อุดตันง่าย

ตัวชี้วัดหลัก:

พิสัย 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (คุณสามารถเลือกช่วงใดก็ได้) โปรดยืนยันเมื่อคุณทำการสั่งซื้อความแม่นยำ ±1% FS เชิงเส้น 0.5% เอฟเอสความสามารถในการทำซ้ำ ±0.2% เอฟเอสเวลาตอบสนอง 1ส.การลดลงของความดันอากาศ <0.01 เมกะปาสคาลแรงดันสูงสุด 3MPอุณหภูมิสภาพแวดล้อมการทำงาน 5~45℃สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต 0~+5.00โวลต์แหล่งจ่ายไฟ +15V 50mA -15V 50mAขนาด 158*30*110น้ำหนัก 0.9 กก.


 การกำหนดค่าระบบจ่ายก๊าซ :

เครื่องวัดอัตราการไหลของโปรตอน 6เกจวัดแรงดันเชิงกล (ช่วง -0.1~0.15MPa) 1วาล์วโลกสแตนเลส 6ข้อต่อแผ่นทะลุสแตนเลส 6ข้อต่อวาล์วสแตนเลส 2ข้อต่อกระบอกสูบสแตนเลส 6ท่อ PTFE 30 ล้านถังผสมแก๊ส Dia80X140MM 1โครงเตาเผา 1 ชุด

 

เครื่องกำเนิด RF / แหล่งจ่ายไฟ RF

 พารามิเตอร์ทางเทคนิคหลักของแหล่งจ่ายไฟ RF:


ช่วงกำลังขับ

  0-500 วัตต์

กำลังสะท้อนสูงสุด

 200 วัตต์

ความถี่ในการทำงาน

ความถี่: 13.56 เมกะเฮิรตซ์ ±0.005%

เสถียรภาพด้านพลังงาน

 +/-0.1%

ส่วนประกอบฮาร์มอนิก

≤-50dbc

ความกว้างของภูมิภาค Rf

ปรับได้0-600 มม.

วิธีจับคู่

อัตโนมัติ

โหมดทำความเย็น

จุดเย็น

 เสียงรบกวน

 <50เดซิเบล

 อินเทอร์เฟซความถี่วิทยุ

 ชนิด N 50Ω

กำลังไฟเข้า

 208-240V 50/60HZ



การรับประกัน

การรับประกันหนึ่งปีและการสนับสนุนทางเทคนิคตลอดอายุการใช้งาน

หมายเหตุพิเศษ:

1. ชิ้นส่วนสิ้นเปลือง เช่น ตัวทำความร้อน ท่อเตา เบ้าหลอมตัวอย่าง ฯลฯ ไม่อยู่ในระยะเวลารับประกัน

2. ความเสียหายที่เกิดจากการใช้ก๊าซกัดกร่อนและก๊าซกรดจะไม่ได้รับการคุ้มครองภายใต้การรับประกัน


ข้อควรระวัง

1. แรงดันอากาศในท่อเตาไม่ควรเกิน 0.02MPa

2. เนื่องจากแรงดันอากาศภายในถังแก๊สสูง จึงต้องติดตั้งวาล์วระบายความดันที่ถังแก๊สเมื่อเติมแก๊สเข้าไปในท่อเตาเผา เพื่อความปลอดภัย แนะนำให้ใช้แรงดันต่ำกว่า 0.02 MPa

3. เมื่อท่อเตาเผาที่ใช้เป็นท่อคอรันดัม เมื่ออุณหภูมิตัวเตาเผาสูงกว่า 1,500 ℃ ท่อเตาเผาไม่ควรอยู่ในสถานะสุญญากาศ และความดันอากาศในท่อเตาเผาควรเท่ากับความดันบรรยากาศ

4. อัตราการไหลของก๊าซเข้าสู่ท่อเตาเผาควรน้อยกว่า 200SCCM เพื่อหลีกเลี่ยงผลกระทบของการไหลของอากาศเย็นต่อท่อเตาเผาที่ร้อน

5. สำหรับการทดลองให้ความร้อนตัวอย่าง ไม่แนะนำให้ปิดวาล์วไอเสียและวาล์วทางเข้าของปลายหน้าแปลนท่อเตา หากจำเป็นต้องปิดวาล์วแก๊สเพื่อให้ความร้อนตัวอย่าง ควรสังเกตตัวบ่งชี้ของมาตรวัดความดันเสมอ หากความดันสูงกว่า 0.02 MPa ควรเปิดวาล์วไอเสียทันทีเพื่อป้องกันอุบัติเหตุ (เช่น ท่อเตาแตก หน้าแปลนกระเด็นออก ฯลฯ)

6. ห้ามใช้เบ้าหลอมกราไฟต์ในหลอดอะลูมินา

7. ไม่ควรใช้องค์ประกอบความร้อน MoSi2 ที่อุณหภูมิต่ำ (400℃-700℃) เป็นเวลานาน มิฉะนั้น อาจทำให้องค์ประกอบความร้อนเสียหายได้



 ทีแม็กซ์ ซีอี

 พันธมิตร TMAX

เตาเผา CVD


เตาเผาแบบท่อ


เตาเผาแบบปิดปาก



1 บรรจุภัณฑ์ส่งออกมาตรฐาน: การป้องกันการชนภายใน บรรจุภัณฑ์กล่องไม้สำหรับส่งออกภายนอก

2. จัดส่งโดยด่วน ทางอากาศ ทางทะเล ตามความต้องการของลูกค้าเพื่อค้นหาวิธีที่เหมาะสมที่สุด

3. รับผิดชอบความเสียหายในระหว่างกระบวนการจัดส่ง จะเปลี่ยนชิ้นส่วนที่เสียหายให้คุณฟรี



TMAXCN Cooperative Brand and TMAXCN Group Employees
Tags:

หน้าแรก

ประเภทสินค้า

ประวัติบริษัท

ติดต่อเรา